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中圖儀器SJ6000激光干涉機床校準補償儀是一種高精度測量設備,采用邁克爾遜干涉原理進行線性測量,可以測量機床的線性定位精度、重復定位精度、反向間隙等。它通過高精度的環(huán)境補償模塊,能夠自動補償激光波長和材料特性,從而確保測量結果的準確性。此外,激光干涉儀還能夠進行角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參數的測量,以及動態(tài)測量和分析,為機床的校準和性能檢測提供全面的數據支持。
在機床加工領域的應用
1.測量機床導軌的直線度和平行度。
導軌是機床中的重要零部件,直線度和平行度的誤差會直接影響機床的加工精度和穩(wěn)定性。激光干涉儀可以通過測量導軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差,從而指導后續(xù)的優(yōu)化和調整。
2.測量機床工作臺的平面度和垂直度。
機床工作臺的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質量。通過激光干涉儀測量工作臺上的干涉條紋,可以快速發(fā)現工作臺的不平整和非垂直狀態(tài),并及時進行調整和修正,確保工件的加工精度和穩(wěn)定性。
3.測量機床主軸的同心度和軸向垂直度。
機床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機床加工精度的關鍵因素。通過激光干涉儀測量主軸上的干涉條紋,可以準確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達到標準要求,從而為后續(xù)的機床調整和校準提供依據。
4.其它
除了上述應用,激光干涉儀還可以用于測量機床各個部件之間的相對位置和尺寸關系,從而檢測和糾正機床的裝配誤差。此外,激光干涉儀還可以用于檢測機床在運行過程中的變形和振動情況,及時發(fā)現機床的故障和異常狀態(tài),保證機床的穩(wěn)定性和可靠性。
對數控機床進行螺距誤差補償
SJ6000激光干涉機床校準補償儀非接觸式、高精度的特點使其適用于各種復雜的運動系統(tǒng),不僅僅局限于運動導軌,還可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。幫助企業(yè)提高設備性能,減少維護成本和停機時間,為制造業(yè)提供了一種精密的測量檢測方式。
功能廣
(1)可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;
(2)可檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
(3)可實現對機床回轉軸的測量與校準;
(4)可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;
(5)具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等;
(6)支持手動或自動進行環(huán)境補償。
軟件強
(1)友好的人機界面;
(2)豐富的應用功能模塊;
(3)向導式的操作流程;
(4)簡潔化的記錄管理;
(5)支持中文、英文和俄文界面;
(6)支持企業(yè)專屬模板定制。
部分技術規(guī)格
穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
動態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
預熱時間 | ≤ 6分鐘 |
工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ |
環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
線性測量距離 | (0~80)m (無需遠距離線性附件) |
線性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
角度軸向量程 | (0~15)m |
角度測量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
平面度軸向量程 | (0~15)m |
平面度測量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m) |
直線度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m |
直線度測量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
垂直度軸向量程 | 短距離(0.1~3.0)m;長距離(1.0~15.0)m |
垂直度測量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
平面度測量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組
平行度測量配置需求:依據軸向量程范圍,選擇相應直線度鏡組即可
短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組
長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求:長直線度鏡組+垂直度鏡組
直線度附件:主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量
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